Spitzencluster Solarvalley - Verbundvorhaben ThinWafer: Entwicklung von Säge-Slurries und deren Recyclingtechnologien zur Herstellung ultradünner Wafer
Zeitraum
2009-11-01 – 2013-12-31
Bewilligte Summe
824.818,79 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03SF0388G
Leistungsplansystematik
Clusterwettbewerb [RB9030]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF.722)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.EGF2)
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