Verbundvorhaben: Spitzencluster Solarvalley, Startprojekt xµ Zellen - Grundlagen für plasmatechnische Dünschichttechnologien wie Magnetronsputtern und ICP-Ätzen zu schaffen, um auf dieser Grundlage weitere Entwicklungen für seserientaugliche Anlagentechnik zur Prozessierung von ultradünnen Wafern anzuschließen.
Zeitraum
2009-01-01 – 2011-03-31
Bewilligte Summe
65.448,05 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03SF0335J
Leistungsplansystematik
Clusterwettbewerb [RB9030]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF.722)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.EGF1)
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