Aktivierungsanalytische Verfahren für Ultrareine Materialien der Mikroelektronik
Zeitraum
1992-04-01 – 1995-12-31
Bewilligte Summe
210.980,28 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03KR3ULM/8
Leistungsplansystematik
Nuklearchemie (abgeschlossen) [U03060]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF.711)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.EGF1)
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