Verbundvorhaben: PlasCon - Plasmatechnologie für hocheffiziente Solarzellen mit passivierten Kontakten der nächsten Generation; Teilvorhaben: Plasma-Anlagentechnologie, Plasma-Oxidation und dotierte PECVD-Schichten
Zeitraum
2022-08-01 – 2025-07-31
Bewilligte Summe
840.286,33 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1137B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01247917/1 – PlasCon - Plasmatechnologie für hocheffiziente Solarzellen mit passivierten Kontakten der nächsten Generation
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Im Projekt PlasCon sollen Plasma-basierte Technologien zur ressourcenschonenden und kostengünstigen Herstellung hocheffizienter Solarzellen der nächsten Generation mit passivierenden Kontakten entwickelt werden. Der Nachweis soll erbracht werden anhand von Tunneloxidbasierten passivierenden Kontakten (Tunnel oxide passivating contact, TOPCon)- und Rückkontakt-Solarzellen (interdigitated back contact, IBC). centrotherm plant zu diesem Zweck eine Weiterentwicklung der PECVD-Anlagentechnologie indem eine neu zu entwickelnde Hochfre-quenzPlasmaquelle mit bekannter Niederfrequenz-Plasma-Technologie kombiniert wird. Mit dieser neuen Kombination sollen hochqualitative Siliziumoxidschichten (Plasma-Oxide) und dotierte dielektrische Schichten erzeugt werden.